応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第69回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 22a-E202-3
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

OVPE法による高速厚膜GaN結晶成長
*宇佐美 茂佳, 清水 歩, 今西 正幸, 滝野 淳一, 隅 智亮, 岡山 芳央, 丸山 美帆子, 吉村 政志, 秦 雅彦, 伊勢村 雅士, 森 勇介
著者情報
キーワード: 22a-E202-3, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（HVPE, OVPE）, OVPE法, 高速成長, 熱力学計算
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