応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第69回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 25a-E301-2
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電子線照射によって形成した4H-SiC中シリコン空孔の濃度定量
*元木 秀佐藤 真一郎佐伯 誠一増山 雄太山﨑 雄一土方 泰斗大島 武
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