応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第69回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 26p-F408-9
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窒化チタン/酸化チタン積層膜を用いた結晶シリコンヘテロ構造の電気的特性向上
*井上 徹哉後藤 和泰黒川 康良宇佐美 徳隆
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