スパッタ成膜MoO<sub>3</sub>を用いた面対面供給によるMoS<sub>2</sub>のCVD合成

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 22p-P03-14

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2962

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

スパッタ成膜MoO₃を用いた面対面供給によるMoS₂のCVD合成

*小倉匡樹, 安藤淳, 今井崇人, 番貴彦, 山本伸一

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キーワード: 22p-P03-14, ナノカーボン, 層状物質, 成長技術, 二硫化モリブデン, 遷移金属ダイカルコゲナイド

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