β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>単結晶へき開シード層を用いたポリマー基板上ZnO薄膜のエピタキシャル成長

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 25p-E202-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_3040

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

β-Ga₂O₃単結晶へき開シード層を用いたポリマー基板上ZnO薄膜のエピタキシャル成長

*大賀友瑛, 宮﨑尚, 金子智, 松田晃史, 吉本護

著者情報

キーワード: 25p-E202-9, 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 透明導電膜, ZnO, エピタキシャル, ポリマー

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2022 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top