応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第69回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 25p-E202-13
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出発原料にIn2O3パウダーおよびIn(acac)3を用いたMist CVD法によるα-In2O3成長と電気的特性評価
*田口 義士金子 健太郎藤田 静雄尾沼 猛儀本田 徹山口 智広
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