m 面サファイア上α-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>におけるキャリア輸送特性と転位による影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 25p-E202-12

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_3043

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

m 面サファイア上α-Ga₂O₃におけるキャリア輸送特性と転位による影響

*高根倫史, 泉宏和, 若松岳, 田中勝久, 金子健太郎

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キーワード: 25p-E202-12, 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 物性評価, 酸化ガリウム, キャリア輸送

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