AIによるSi薄膜トランジスタの電気特性推定

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 23p-E304-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_50

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

AIによるSi薄膜トランジスタの電気特性推定

*池上浩, 倉重貴行, 永野貴寛, 片山慶太, 柿本祥明, 中村大輔, 後藤哲也

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キーワード: 23p-E304-5, シンポジウム, レーザープロセシング技術×AIの最新研究動向, AI解析, レーザーアニール, 半導体デバイス

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