第52回年次大会（平成16年度）
セッションID: 149
会議情報
主催: 社団法人日本工学教育協会, 北陸信越工学教育協会
会議名: 工学・工業教育研究講演会
回次: 2004
開催地: 金沢工業大学８号館
開催日: 2004/07/30 - 2004/08/01
(149)つくる,評価する,考えるを実践する「ものづくり」教育(セッション43 教育システムB(実技)VII)
: スパッタリング法による半導体薄膜作製・評価実験
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