OS6(2)-7(OS06W0411) Micromechanical Testing of SU-8 Cantilevers

Abstracts of ATEM : International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics : Asian Conference on Experimental Mechanics

Online ISSN : 2424-2837

2003

DOI https://doi.org/10.1299/jsmeatem.2003.109

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OS6(2)-7(OS06W0411) Micromechanical Testing of SU-8 Cantilevers

Matthew Hopcroft, Tobias Kramer, Gyuman Kim, Kazuki Takashima, Yakichi Higo, David F Moore, Juergen Brugger

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p. 109-

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