753 はんだフリップチップ実装を用いた大変位静電マイクロミラーの開発

計算力学講演会講演論文集

Online ISSN : 2424-2799

DOI https://doi.org/10.1299/jsmecmd.2003.16.697

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753 はんだフリップチップ実装を用いた大変位静電マイクロミラーの開発

三木隆弘, 石川浩嗣, 間宮宏樹, 于強

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会議録・要旨集フリー

p. 697-698

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