計算力学講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2799
セッションID: 107
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107 TCADプロセスシミュレータを用いたLSI銅配線/絶縁膜界面におけるエネルギー解放率分布予測
桑林 敦, 大宮 正毅, 小岩 康三, 宍戸 信之, 神谷 庄司, 佐藤 尚, 西田 政弘, 鈴木 貴志, 中村 友二, 鈴木 俊明, 野久尾 毅
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