流体工学部門講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2896
セッションID: 108
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108 誘導結合プラズマにおける電子の熱運動効果の粒子モデル解析(O.S.1-2 プラズマ(1))(O.S.1 電子・イオン・分子の流れ)
塩澤 正和南部 健一
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© 2001 一般社団法人 日本機械学会
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