流体工学部門講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2896
セッションID: 107
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107 塩素プラズマによるシリコンエッチングの基板バイアス効果(O.S.1-2 プラズマ(1))(O.S.1 電子・イオン・分子の流れ)
佐々木 博志, 南部 健一, 高橋 正嘉, 江戸 隆諭
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© 2001 一般社団法人 日本機械学会
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