112 表面波励起プラズマの粒子モデル解析(O.S.1-3 プラズマ(2))(O.S.1 電子・イオン・分子の流れ)

流体工学部門講演会講演論文集

Online ISSN : 2424-2896

セッションID: 112

DOI https://doi.org/10.1299/jsmefed.2001.16

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112 表面波励起プラズマの粒子モデル解析(O.S.1-3 プラズマ(2))(O.S.1 電子・イオン・分子の流れ)

南部健一, 長岡靖

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