流体工学部門講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2896
セッションID: 111
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111 二周波励起容量結合プラズマにおける基板入射イオンの速度分布関数(O.S.1-3 プラズマ(2))(O.S.1 電子・イオン・分子の流れ)
若山 剛, 南部 健一
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