北陸信越支部総会・講演会　講演論文集
Online ISSN : 2424-2772
セッションID: 305
会議情報
305 減圧沸騰噴霧の適用によるCVD新気化供給法の提案 : HfO_2膜表面におよぼす原料噴射量の影響(GS9-1 機械材料)
大嶋 元啓, 富永 浩二, 千田 二郎, 石田 耕三
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© 2010 一般社団法人 日本機械学会
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