IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-3140
セッションID: 1100
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1100 マイクロシステムの現状と今後の展開(キーノートスピーチ,マイクロメカトロニクス)
小寺 秀俊
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抄録
MEMS (Micro Elecro-Mechanical Systems)に関する研究は1990年代にその基礎的な加工方法および原理研究が盛んに行われ,現在では多くの機能を集積化した集積化MEMSやMEMSの応用分野としてのマイクロTAS (Total Analysis Systems)に関する研究が盛んに行われている.本講演では,MEMSの現状と今後の展開に関して,研究事例も交えて述べる.
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© 2005 一般社団法人 日本機械学会
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