1100 MEMS産業基盤強化の最近の動向(キーノートスピーチ,マイクロメカトロニクス)

佐藤 一雄

doi:10.1299/jsmeiip.2007.1

抄録

MEMSの産業化は着実に進んでいる.これをさらに推進するには基盤技術の強化と開発環境の整備が必要である.(1)材料・プロセス技術に関する知識の蓄積,(2)設計・解析ツールの整備,(3)事業化促進のための国内ファウンダリの成熟,(4)マイクロ・ナノ領域の理工学に関する異分野の連携・協働の進展,などについて最近のMEMS分野の動向を概観・分析した.

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