日本機械学会関東支部総会講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2691
ISSN-L : 2424-2691
セッションID: 1013
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検知膜に金属酸化物薄膜を用いた水晶微小天秤(QCM)法によるガスセンサの検討
*向山 翔大*岩森 暁大西 康貴木下 理裕
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キーワード: QCM, Gas sensor, ZnO
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© 2017 一般社団法人 日本機械学会
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