触媒表面を基準面とした光学材料、半導体材料表面の超平滑化エッチング法(<特集>物理化学ナノ製造プロセスの最前線)

日本機械学会誌

Online ISSN : 2424-2675
ISSN-L : 0021-4728

触媒表面を基準面とした光学材料、半導体材料表面の超平滑化エッチング法(<特集>物理化学ナノ製造プロセスの最前線)

佐野泰久

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2023 年 126 巻 1259 号 p. 14-17

DOI https://doi.org/10.1299/jsmemag.126.1259_14

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