プラズマ／電気化学プロセスを援用したナノ精度の形状加工と難加工材料のダメージフリー研磨(<特集>物理化学ナノ製造プロセスの最前線)

日本機械学会誌

Online ISSN : 2424-2675
ISSN-L : 0021-4728

プラズマ／電気化学プロセスを援用したナノ精度の形状加工と難加工材料のダメージフリー研磨(<特集>物理化学ナノ製造プロセスの最前線)

山村和也

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解説誌・一般情報誌認証あり

2023 年 126 巻 1259 号 p. 8-13

DOI https://doi.org/10.1299/jsmemag.126.1259_8

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