年次大会
Online ISSN : 2424-2667
ISSN-L : 2424-2667
セッションID: J04303
会議情報

主催: 一般社団法人 日本機械学会

会議名: 2019年度 年次大会

開催日: 2019/09/08 - 2019/09/11

非接触圧電体共振法によるシリコン基板上への半連続膜の成膜
*中村 暢伴, 上野 友也, 橋里 駿, 荻 博次
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キーワード: Semicontinuous Film, Piezoelectric Material, Resonance Vibration, Silicon, Monitoring
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