マイクロ・ナノ工学シンポジウム
Online ISSN : 2432-9495
セッションID: 28am2-F-6
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28am2-F-6 境界面温度を考慮した分子気体潤滑(t-MGL)解析 : 自由分子流領域の極限式
岡村 祐輝松岡 広成福井 茂寿
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抄録
In the present paper, we indicate free molecular t-MGL equation, which is as a function of accommodation coefficients, for examining Thermo-molecular Gas-film Lubrication (t-MGL) characteristics in several nanometers. As the minimum spacing decreases, pressures by the use of conventional t-MGL equation and the free molecular t-MGL equation become close each other, which means free molecular t-MGL equation is applicable for the nanometer region.
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© 2015 一般社団法人 日本機械学会
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