セッションID: 28A3-MN1-6
会議情報
主催: 一般社団法人 日本機械学会
会議名: 第11回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
開催日: 2020/10/26 - 2020/10/28
圧電デバイス用のPLZT膜の活用
詳細
主催: 一般社団法人 日本機械学会
会議名: 第11回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
開催日: 2020/10/26 - 2020/10/28
The tactile-stimulation devices for human fingers vary in design and construction. We are developing MEMS tactile device using cantilever. It is needed improve piezoelectric performance and process of MEMS development. We report piezoelectric film improvement.
