機械学習を用いた製造工程における半導体ウエハの品質検査

抄録

化合物半導体製造現場では時々刻々と変化する製造装置の調整のため，加工後の製品検査を行いウエハの状態を特定することで工程異常への対処を行う．本研究では機械学習によりウエハの状態分類を行う判別器を生成し，その判断基準を明らかにすることで，作業者の判断基準との比較を行った．結果として，人の判断と客観的指標を対応付け，知識に基づく人の判断を客観化することで，基準の見直しなど判断における人にとって新しい知見を得ることにつながることを示した．