1P1-02-001 ハーモニックドライブ応用のカム式精密リニアアクチュエータ

抄録

半導体関連用アクチュエータは極めて高い位置決め精度が要求される。このような市場ニーズの中で, ノーバックラッシ, 高回転精度, 高減速比を有するハーモニックドライブ, 小型ステッピングモータ, 高精度カムを組み合わせた高精度リニアアクチュエータを製品化した。本製品の特長は回転-直線変換要素にカムを採用した点にある。