2A1-75-107 電子顕微鏡下の作業における接触情報の検出方法の提案と考察

抄録

現在我々は, 走査型電子顕微鏡の中で「作業を行いながら観察を行うことができるマニピュレータシステム」の開発を進めている。本報告では, マニピュレータの接触状態の検出方法の提案と, 作業段階における作業対象物とマニピュレータとの接触力の状態の遷移について述べる。