東北支部総会・講演会　講演論文集
Online ISSN : 2424-2713
セッションID: 141
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141 反応性イオンエッチングにより作製したオンチップマイクロクヌーセンポンプ
諏訪 亘, 猪股 直生, 小野 崇人
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