東北支部総会・講演会　講演論文集
Online ISSN : 2424-2713
セッションID: 146
会議情報

主催: 一般社団法人 日本機械学会

会議名: 日本機械学会 東北支部第52期総会・講演会

開催日: 2017/03/04

めっき銅薄膜配線のエレクトロマイグレーション耐性支配因子の解明
*加藤 武瑠, 鈴木 研, 三浦 英生
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キーワード: Reliability, Grain boundary, EBSD, Thin-film, Atomic diffusion
会議録・要旨集 認証あり

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