日本機械学会東北支部秋季講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2721
セッションID: 302
会議情報

主催: 一般社団法人 日本機械学会

会議名: 日本機械学会 東北支部第53期秋季講演会

開催日: 2017/09/30

流体デリバリ用 AFM カンチレバーの埋込型流路の閉合と Si 探針形状への影響
*増田 雄介, *洪 振瑞, *三浦 嘉孝, *佐藤 翼, *峯田 貴
著者情報
キーワード: Dual AFM cantilever, Micro-channel, TEOS PE-CVD, Sputter, Thermal oxidation
会議録・要旨集 認証あり

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