日本機械学会東北支部秋季講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2721
セッションID: 303
会議情報

主催: 一般社団法人 日本機械学会

会議名: 日本機械学会 東北支部第53期秋季講演会

開催日: 2017/09/30

電界制御技術を導入した高効率 CMP 技術の研磨特性
*池田 洋, *久住 孝幸, *中村 竜太, *赤上 陽一
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キーワード: CMP, AC electric field, Removal rate, Slurry, SiC
会議録・要旨集 認証あり

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