東海支部総会講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2748
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525 基板励振を用いた薄膜の残留応力制御
久保山 剛森野 大輔真田 祐紀松室 昭仁
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p. 247-248

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© 2002 一般社団法人 日本機械学会
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