東海支部総会講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2748
セッションID: 701
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701 パルス化直流プラズマCVD法によるBCN成膜(OS8-1 表面の機能化と薄膜・トライポロジー(1),OS8 表面の機能化と薄膜・トライポロジー)
榊原 優理, 河村 貴宏, 小竹 茂夫, 鈴木 泰之
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© 2013 一般社団法人 日本機械学会
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