東海支部総会講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2748
セッションID: 509
会議情報

主催: 一般社団法人 日本機械学会

会議名: 日本機械学会 東海支部第67期総会・講演会

開催日: 2018/03/13 - 2018/03/14

真性圧縮応力を有する二層構造のエッチング誘起うねり座屈解析
*杉浦 順哉, 奥村 大, 田中 展
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キーワード: Semiconductor device, Intrinsic stress, Buckling, Finite element analysis
会議録・要旨集 認証あり

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