プラズマ・核融合学会誌
Print ISSN : 0918-7928
材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展 1.はじめに
橘 邦英
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1999 年 75 巻 7 号 p. 777-778

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© 1999 by The Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research (Japanese)
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