スマートプロセス学会誌
Online ISSN : 2187-1337
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LPD 法によるSnO2 を用いたガラス基板に対する銅めっき皮膜の密着機構
佃 真優長尾 敏光片山 順一廣岡 あすか妹尾 駿作速水 雅仁坂田 俊彦
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2023 年 12 巻 5 号 p. 265-270

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抄録

We investigated a method of copper plating on glass substrates wit h high smoothness and insulation properties and excellent transmission characteristics, while maintaining the smoothness of the substrate. The tin oxide deposited by the liquid phase deposition method acts as an adhesion layer between the glass substrate and the plating film, which was obtained to copper plating film with excellent adhesion. In this report, we discuss the microstructure of the plating film interface where high adhesion is obtained.

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© 2023 一般社団法人 スマートプロセス学会
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