表面科学
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特集:Au/Si界面の科学
Si(111)表面上Auの初期反応過程
城戸 義明星野 靖岩見 基弘
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2012 年 33 巻 3 号 p. 127-134

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抄録

This article presents the interfacial reactions at Au/Si(111)-7×7 at room temperature, which were studied by high-resolution medium energy ion scattering combined with photoelectrons spectroscopy using synchrotron-radiation-light. All the experiments were performed in situ under ultra-high vacuum conditions (< 3×10-8 Pa). The results obtained are compared with those reported so far including the topics of critical thickness for silicidation reactions.

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