電解複合研磨による金属の超鏡面化技術

抄録

電解複合研磨は, 昭和51年に開発した金属表面処理技術で, ステンレス鋼はもとより, アルミ, チタン, 銅などの非鉄金属まで, 加工変質層を伴わずに200～300Åまでの高品位鏡面を, 安定した品質で加工できる新しい技術である。
従来の研磨法では, 限界にきているULSI製造プロセスのウルトラクリーン化や, 超, 極高真空システムの高性能化など, 先端ハイテク分野へ貢献しうる電解複合研磨技術について紹介する。