ダイヤモンドのエピタキシー

抄録

化学気相法によるダイヤモンドのエピタキシー研究の現状を概観する。立方晶窒化ほう素では典型的なエピタキシャル成長が可能である。また従来は部分的なエピタキシーの傾向のみが観察されていたシリコン,炭化けい素,ニッケルについても,新しい成果が生まれつつある。