省電力型DC-RFハイブリッドプラズマ流動システムにおける微粒子熱流動特性と球形化プロセス

可視化情報学会誌

Online ISSN : 1884-037X
Print ISSN : 0916-4731
ISSN-L : 0916-4731

省電力型DC-RFハイブリッドプラズマ流動システムにおける微粒子熱流動特性と球形化プロセス

高奈秀匡 ^†, 井川純ニ ^†, ジャンジュヨン ^†, 中鳴智樹 ^†, 西山秀哉 ^†

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ジャーナルフリー

2009 年 29-1 巻 2 号 p. 1019

DOI https://doi.org/10.3154/jvs.29.1019

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© 2009 社団法人可視化情報学会

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