真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
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解説
マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマを用いたシリコン酸化膜の超高速エッチングおよびカーボンナノチューブの形成
山川 晃司堀 勝
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2005 年 48 巻 2 号 p. 51-56

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© 2005 日本真空協会
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