真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
解説
有機金属気相エピタキシー法における GaN 薄膜の成長シミュレーション
大川 和宏, 平子 晃, 徳田 耕太
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2006 年 49 巻 9 号 p. 520-524

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© 2006 日本真空協会
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