酸化物薄膜の成膜</br>—熱化学気相成長のモデル解析とシミュレーション—

真空

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酸化物薄膜の成膜
—熱化学気相成長のモデル解析とシミュレーション—

秋山泰伸

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ジャーナルフリー

2006 年 49 巻 9 号 p. 535-540

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj.49.535

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