真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
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Si基板中へのAu+およびCu+の高濃度
イオン注入によるSi-Au, -Cu合金の直接生成
平木 昭夫, 岩見 基弘, 蒲生 健次, 難波 進
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1978 年 21 巻 7 号 p. 219-223

[Correction] SHINKU Vol.21 No.8 (1978) pp.e2-e2
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