以上, 感度係数法による整理法, 内部基準法による整理法 (ICr, 対IFe。プロット, IO/IFe対ICr/IFe, プロット), 低エネルギー側ケミカルシフト, Fe高エネルギー側ピーク (705eV) の形状変化観察の5つの異なった方法での解析がすべてよい一致を示した.このことは, 分析データの安定性を示すとともに, 求められた深さ方向元素分布の信頼性を表わしていると考えられる.さらに, このように深さ方向について元素の状態が大きく変化しているような場合においてもオージェ信号が充分に定量性を保持していることが確認された.
