真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
大型ターボ分子ポンプの受ける磁場の影響
西出 昭彦, 金戸 成, 池上 達治, 坂本 雄一
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1981 年 24 巻 4 号 p. 185-188

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