真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
ターボ分子ポンプ付スペースチャンバの試作
平田 正紘, 小野 雅敏
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1981 年 24 巻 4 号 p. 189-191

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