真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
ECRプラズマによる炭素コーティング膜の評価
堀 洋一郎, 相良 明男, 小川 雄一, 広倉 覚, 菅井 秀郎, 皆川 秀紀, 山科 俊郎, 雨宮 宏, 石部 行雄, 岡崎 清比古, 坂本 雄一
著者情報
ジャーナル フリー

1988 年 31 巻 5 号 p. 493-497

詳細
PDFをダウンロード (511K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
記事の1ページ目
著者関連情報
© 日本真空協会
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
このページを共有する
feedback
 Top