真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
プラズマCVDによる硬質カーボン膜コーティング
小早川 幹夫種村 誠太丹羽 博昭斉藤 和雄
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1988 年 31 巻 5 号 p. 498-502

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© 日本真空協会
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